主動減震系統(tǒng)MAPS-008明立精機MEIRITZ

主動減震系統(tǒng)MAPS-008明立精機MEIRITZ

空氣壓力控制式主動減震系統(tǒng)

MAPS系列

MAPS-008,MAPS-016,MAPS-033,MAPS-065,MAPS-130,MAPS-240

空氣壓力控制式主動減震系統(tǒng)MAPS系列特點：

小型也能應(yīng)對全自由度的振動。MAPS系列的活性減振系統(tǒng)是將垂直用和水平用空氣壓力執(zhí)行器內(nèi)置在緊湊型結(jié)構(gòu)中的單元類型。通過使用4個單元，可以對所有自由度的振動表現(xiàn)出好的減振性能、阻尼性能和位置定位性能。

被動減振也能消除難以處理的頻帶振動。在被動減振中，固有振動引起的共振往往是一個常見問題，但通過激活化可以消除由固有振動引起的共振。并且在這一頻段內(nèi)也能獲得出色的減振性能。例如，被動減振不擅長處理的2Hz附近的低頻振動，相比被動減振，可以減小到1/30～1/100以下。

在標準MAPS下，10噸以上的裝置可以進行減震。由于裝置的大型化，使得裝置本身固有振動數(shù)難以保持在較高水平，因此即使是以前幾乎不會成為問題的低頻振動也容易受到影響。這也是需要具有低頻振動去除性能的主動振動控制系統(tǒng)的一個原因。

通過使用柔軟的彈性體來支撐，被動減震裝置可以消除X-Y臺等帶有運動裝置的設(shè)備帶來的整體大幅晃動，反而增加振動。

在主動減震中，通過反饋控制始終保持靜止狀態(tài)，可以減小晃動。此外，如果能夠預先將臺子的運動作為信號輸出，就可以通過前饋控制使產(chǎn)生的振動最小，從而提供幾乎沒有晃動的環(huán)境。

當裝置大型化時，傾斜也會成為問題。由于裝置本身較重，傾斜時會因自重而產(chǎn)生變形，從而對精度產(chǎn)生顯著影響。MAPS在進行控制時也考慮了水平精度，因此可以抑制傾斜并保持精度。此外，MAPS也考慮了位置定位精度，能夠順利進行如盤體或基板等的傳遞。

只需確保安裝MAPS的空間，即可獲得不受振動影響的環(huán)境。MAPS系列的控制系統(tǒng)非常穩(wěn)定，不僅可以用于公司內(nèi)部設(shè)備，還可以放心用于銷售的產(chǎn)品。